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526657 產(chǎn)品規(guī)格書

產(chǎn)品信息

直線位移臺臺面寬度80mm 行程50mm 真空專用滾珠絲桿+交叉滾柱導(dǎo)軌

產(chǎn)品編號：526657

產(chǎn)品描述

步進電機平移臺適用于行程范圍在0-50mm之間的各項應(yīng)用。它結(jié)構(gòu)堅固、性能卓越，廣泛應(yīng)用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)，其中包括半導(dǎo)體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。位移臺插電即用，控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制，接口豐富方便二次開發(fā)。

產(chǎn)品特點
(1) 行程覆蓋：30mm與50mm。
(2) 堅固的臺身設(shè)計可確保以50mm×50mm的最大行程進行可靠的XY軸組裝。

規(guī)格參數(shù)

行程 50mm

負載 5kg

分辨率 0.625μm

最小運動增量 1μm

單向重復(fù)定位精度(保證值) ±1μm

單向重復(fù)定位精度(典型值) ?±0.5μm

雙向重復(fù)定位精度(保證值) ±2μm

雙向重復(fù)定位精度(典型值) ?±1μm

準(zhǔn)確度(保證值) ±10μm

準(zhǔn)確度(典型值) ?±5μm

最大速度 10mm/s

使用場景真空專用

直線度 10μm

平整度 10μm

Yaw-偏擺 30″

Pitch-俯仰 30″

持續(xù)推力 /

峰值推力 /

重量 2.8kg

適配控制器 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264

尺寸圖

關(guān)于產(chǎn)品

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