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527055 產(chǎn)品規(guī)格書
527055 產(chǎn)品規(guī)格書
產(chǎn)品信息
二維掃描臺(tái) 臺(tái)面寬度360mm 行程200mm 直線電機(jī)+交叉滾柱導(dǎo)軌

產(chǎn)品編號:527055
產(chǎn)品描述
聯(lián)合光科的XY位移平臺(tái)應(yīng)用于穩(wěn)定性、精度和動(dòng)態(tài)性要求極高的科研和工業(yè)領(lǐng)域。使用高負(fù)載XY位移平臺(tái)和平面掃描儀,您可以高效率實(shí)現(xiàn)高精操作。二維位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)了快速、重復(fù)精度高的掃描與最佳速度穩(wěn)定性的完美結(jié)合。
規(guī)格參數(shù)
行程 200mm(XY)
負(fù)載 30kg
分辨率 0.05μm
最小步進(jìn)量 0.2μm
單向重復(fù)定位精度/保證值 ±0.5μm
單向重復(fù)定位精度/典型值 ±0.3μm
雙向重復(fù)定位精度/保證值 ±1μm
雙向重復(fù)定位精度/典型值 ±0.5μm
定位精度/保證值 ±2μm
定位精度/典型值 ±1μm
最大速度 500mm/s
直線度 10μm
平整度 10μm
偏擺 20″
俯仰 20″
重量 32kg
適配控制器 528260/528261/528262/528263/528265
關(guān)于產(chǎn)品

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