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750010 產(chǎn)品規(guī)格書
750010 產(chǎn)品規(guī)格書
產(chǎn)品信息
光學(xué)元件表面檢測

產(chǎn)品編號：750010
產(chǎn)品描述
ARGOS根據(jù)ISO 10110-7 標(biāo)準(zhǔn)進行質(zhì)量檢測，能顯著減輕質(zhì)檢員費時、費力進行表面缺陷檢驗的工作 質(zhì)檢員可通過測試結(jié)果，給出生產(chǎn)線上的糾正錯誤，提高測試樣品質(zhì)量。

產(chǎn)品特點 
  • 快速檢驗整個表面
  • 提高產(chǎn)出和品質(zhì)
  • 完全符合ISO 10110-7文件標(biāo)準(zhǔn)
 
選項 測試和驗證 缺陷類型 便于使用
  • 氣流去除灰塵
  • 鏡頭（透鏡）
  • 麻點
  • 通用夾具
  • 真空電動聚焦軸
  • 平面鏡
  • 劃痕
  • 桌面式觸摸屏
  • 自動聚焦（圓形元件）
  • 鏡片（反射鏡）
  • 邊緣裂縫
  • 人機工程學(xué)界面
  • 2軸依次掃描
  
  • 鍍膜孔
  
  • EDOF （擴展景深）
      
  • 自動上下料
      
 
典型缺陷
      
(從左到右) 麻點 / 長劃痕 / 密集缺陷 / 崩邊     
 
  
  玻璃上由聚焦離子束導(dǎo)致的缺陷參考
 
 校準(zhǔn)
規(guī)格參數(shù)
精度 
最小ISO規(guī)格  5/ 1x0.016; C1x0.04; L1x0.01; E 0.04  評估為指定麻點尺寸的16%和指定劃痕尺寸的25%。
重復(fù)性   >98% for 5/1×0.16  指定同等級
>95% for 5/1×0.04
可見度 <1μm  由于光學(xué)分辨率的重復(fù)性，小于2.5μm的可見缺陷被評定為等級0.0025。
精度  <1μm  相同參考樣品30次重復(fù)插入的標(biāo)準(zhǔn)偏差
真實性   < 2 μm (dig) 檢驗結(jié)果接近真實值
< 1 μm (scratch)
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