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750119 產(chǎn)品規(guī)格書
750119 產(chǎn)品規(guī)格書
產(chǎn)品信息
WaveMaster? PRO 2 Wafer 量產(chǎn)型波前測量儀

產(chǎn)品編號：750119
WaveMaster?PRO 2 量產(chǎn)型波前測量儀
WaveMaster? PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量的大批量檢測的需求而研發(fā)的兩款儀器，可自行設(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn)，并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動判定合格和不合格。WaveMaster? PRO 2和WaveMaster? PRO 2 reflex配備托盤系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對單個小鏡片的大批量檢測。WaveMaster? PRO Wafer則可以對晶圓級鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測。

應(yīng)用范圍：

  • 生產(chǎn)線上的大批量鏡頭波前和表面面形的檢測
  • 晶圓級鏡頭的波前檢測
規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品編號 750119
產(chǎn)品型號 WaveMaster? PRO 2 Wafer
應(yīng)用范圍 批量測量晶圓級鏡片的波前質(zhì)量
測量模式 透射式
空間分辨率 138×138
測量精度 <λ/20 (RMS)
測量重復(fù)性 <λ/200 (RMS)
動態(tài)范圍 2000λ
測量頻率 12Hz
測量時間  < 3秒/顆 
樣品口徑 0.5mm…14mm 
樣品焦距 -12mm…50mm 
光學(xué)波長 532nm
樣品夾持器 托盤式，自動定位
晶體托盤（4”/6”/8”）
自動判定晶圓方向
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